2月17日微細加工技術実践セミナーのご案内

ナノプラットフォームコンソーシアム微細加工技術　実践セミナーが開催されます。
セミナーを通じて、微細加工技術の基礎及び概要を知っていただき、微細加工PFの共用施設を有効に活用いただくきっかけになり、研究・開発の加速、並びに課題解決の一助になることを願っております。
多くの皆様のご参加をお待ちしております。

～オンライン技術セミナー＆実習コースで微細加工の基礎と共用施設・技術の活用を学ぶ～

【日時】2021年2月17日(水)15:00～17:00

【開催方法】オンライン（ZOOM）

【参加料】無料

【プログラム】

1. ナノテクノロジープラットフォーム事業・微細加工PFのご紹介
2. チュートリアル　15:10～15:35
   「CMOS回路作製の基礎技術」
   北九州産業学術推進機構　安藤 秀幸 氏
3. プラットフォーム技術紹介　15:35～17:00
   「多様な材料・プロセス開発を叶えるドライエッチング技術」
   物質・材料研究機構　渡辺 英一郎 氏
   「水蒸気プラズマ接合を用いたCOP製マイクロ流路作製技術」
   京都大学　土屋 智由 氏
   「超高真空スパッタ装置を用いたスピントロニクス素子用薄膜の作製」
   山口大学　浅田 裕法 氏